二元振动研磨机只有旋振和圆形振动，而三元振动研磨机有旋振和圆形振动及三维振动。当工件、成形磨块、化学磨液和水按一定比例放人光整机的容器中。然后启动振动电机。振动电机轴的上下两端装有偏心铁块，它们在水平面上的投影互成一个直角，当振动电机高速旋转时，两个偏心块产生在水平面内沿圆周方向变化的激振力（离心力），使机体产生水平面内的圆周运动，同时由于激振力不通过机体的质心。因而产生激振矩（即倾倒力矩）使容器绕水平轴摇摆，由于容器底部呈圆环形状、各点的振幅不一致，使容器中的成型磨块和工件既竖直中心轴线公转，又绕圆环中心翻滚，其合成运动为环形螺旋运动，同时容器有一螺旋升角，成型磨块和工件沿螺旋面向上滑行，使工件和成型磨块在运动时增加了摩擦力，提高了光整效率。
三次元振动研磨机具有高频率的振动，使工作物与研磨石或钢珠、研磨剂等密切均匀混合，呈螺旋涡流状滚动，三次元振动研磨机以研磨切削或抛光工作物表面，尤其是那些易受变形或外形复杂，孔内死角之工作物使用三次元振动研磨机研磨均能得到均匀之质量，而且在加工运转中可随时抽验，节省时间，提高质量；三次元振动研磨机选料区设有转换开闸门、过滤网等可把磨物与被研磨物分离，易于选料，操作简单。
